Saturn 3520 发往国内 SiC 头部企业
6月1日，中电科风华晶圆缺陷检测设备Saturn 3520发往国内 SiC 头部企业。截止目前，该型号设备已经面向多家客户实现批量出货，通过国内多家客户对标验证应用并验收，功能、性能等关键指标达到国外同等水平，部分指标实现超越，加速国产化进程。
Saturn 3520 激光扫描晶圆缺陷检测设备
▌ Saturn 3520 方案
Saturn 3520 采用激光点共焦旋转扫描技术架构，搭载明场（反射）、明场（相位）、暗场（斜入射）、暗场（正入射）、形貌（径向剪切）、形貌（切向剪切）、光致发光（紫外）、光致发光（可见）等多个同步检测通道，可在单次扫描中完整获取晶圆多维缺陷信息，具备行业领先的检测精度与灵敏度，是国内三代半晶圆检测领域最好的解决方案，设备已经通过国内多家客户对标应用验证、并通过验收。
▌ Saturn 系列 · 灵活配置满足多种检测需求
Saturn系列作为平台化解决方案，具备多通道、高灵敏度、高检测通量等核心优势，适用于Si 、SiC、GaN、GaAs、InP、LT等多种衬底和外延的表面及晶格缺陷检测，为功率器件、射频器件、光电器件、光通信等相关的半导体材料制造提供质量保障。
Saturn 系列主要包含三款标准机型，可根据客户检测需求选配定制：Saturn 3500【对标 SP1】/ 检测高效，适合基础颗粒划痕检测需求
Saturn 3510【对标 8720】/ 均衡配置，高穿透深度，兼顾效率与精度
Saturn 3520【对标 8520】/ 检测通道丰富，适配多种材料高精度检测
▌ 结语
从多次顺利出货到客户验收通过，Saturn系列设备已赢得市场的充分认可。中电科风华将以锐意创新为驱动引擎，以优质服务为立身之本，持续回报市场的信任与支持，与客户携手共创智慧未来！
